二手真空镀膜机

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二手真空镀膜机

产品简介

二手光驰镀膜机 光学真空镀膜机日本光驰OTFC-1300镀膜机:主要用于量产高精度的带通滤光片产品,包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片,可以使产品的光学

产品型号:OTC-1300
更新时间:2024-04-29
厂商性质:私有
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二手光驰镀膜机 光学真空镀膜机

日本光驰OTFC-1300镀膜机:主要用于量产高精度的带通滤光片产品,包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片,可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障,满足生物疗领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。

OTFC-1300镀膜机的基本配置是:搭载了10KV双电子枪,750WRF射频离子源,光学膜厚监控装置(Optorun制,HOM2-R-VIS350A),低温冷凝器(Polycold),油旋转机械泵 (Edwards E2M275)罗茨机械泵(Edwards EH1200);多点和环型坩埚可镀200层以上,膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度OD5以上,不用再为了达到高OD值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。

下面介绍其中两个特点:

1.光学膜厚测量控制:

OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,这就使生产效率得以显著提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量,并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准,公差更小,可以做到±0.1nm

2. RF射频离子源:

1)加工精度高,便于控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描,可以控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1150mm以上。

2)同使用灯丝型的离子源比较,它的寿命长,污染少。

3)加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工,作为一种微观作用,其宏观压力很小,适合于各种材料和低刚度工件的加工,而且加工表面质量高。

4) 动作安定性高,能长时间运转。

3.镀膜机明细参数:

真空室SUS304,Ф1300mm×1500mm(H)基板架4片式工作架(或Ф1200 mm)基板架转速30rpm(可调)晶振式膜厚计XTC/3 6点式水晶传感器蒸发源电子枪1台性能极限真空7.0×10-5Pa以下抽气速度10分(大气压~3.0×10-3Pa)基板加热温度350安装要求安装空间约4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)电力3相,200V50/60Hz,约80KVA水流量100/分以上压缩空气压力0.5-0.7MPa重量约5000kg


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