二手真空镀膜机
在线出售光驰OTFC-1550真空镀膜机 光学镀膜机 玻璃镀膜机
产品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI
原装高配OTFC-1550光驰机(年份:2015. 11
日本电子16P双枪,23 寸光驰RF离子源
275机械泵+爱德华配套罗茨泵
HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪
XTC/3+6点式水晶传感器
1.产品参数:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波长范围:350nm to 1100nm 光学膜厚监控仪反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF 离子源
机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2 个冷凝泵)