日本光驰真空镀机型号OTFC-1300  / 1550  出售 

1.日本光驰OTFC-1300MM镀膜机  光学机 电镀机

此设备有射频源,单枪,扩散泵深冷和煮蒸，设备保养的相当的，还在生产线上使用中的设备，日本原装的，可以含安装免费用教工艺！

日本光驰OTFC-1300MM镀膜机  光学机 电镀机的主要分类

主要分类有两个大种类： 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜，具体则包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，溶胶凝胶法等等 。

一、对于蒸发镀膜：

一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。

厚度均匀性主要取决于：

1。基片材料与靶材的晶格匹配程度

2、基片表面温度

3. 蒸发功率，速率

4. 真空度

5. 镀膜时间，厚度大小。组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易***，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。

一般来说，光学薄膜的生产方式主要分为干法和湿法的生产工艺。所谓的干式就是没有液体出现在整个加工过程中，例如真空蒸镀是在一真空环境中，

以电能加热固体原物料，经升华成气体后附着在一个固体基材的表面上，完成涂布加工。日常生活中所看到装饰用的金色、银色或具金属质感的包装膜，

就是以干式涂布方式制造的产品。但是在实际量产的考虑下，干式涂布运用的范围小于湿式涂布。湿式涂布一般的做法是把具有各种功能的成分混合成液态涂料，

以不同的加工方式涂布在基材上，然后使液态涂料干燥固化做成产品。

2.产品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI

原装高配OTFC-1550光驰机(年份:2015. 11

日本电子16P双枪，23 寸光驰RF离子源

275机械泵+爱德华配套罗茨泵

HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪

XTC/3+6点式水晶传感器

1.产品参数:

真空室中1550 X 1800mm(H)

工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)

光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A

波长范围:350nm to 1100nm 光学膜厚监控仪反射式/透射式

水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源电子枪2套

离子源17cmRF 离子源

机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2 个冷凝泵)

2. 性能:达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分 (大气压,1.3X10- 3Pa)基板温度:350

3. 设备尺寸:约5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H)  3相, 200v, 50/60Hz,

4. 电源约120KVA 水流量180 升/分以上 空气压力0. 5MPa以上

5. 重量约11000kg